質(zhì)量流量設備#初開(kāi)發(fā)于1960年代，是系統中的重要組件，該系統可生成校準各種氣體分析儀器所需的特殊氣體標準。質(zhì)量流量設備會(huì )產(chǎn)生與氣體質(zhì)量流量成正比的信號。
氣體的比熱對于每種氣體都是非常好的，因此質(zhì)量流量設備基本上與樣品的溫度和/或壓力的任何潛在波動(dòng)無(wú)關(guān)。因此可以確定，由質(zhì)量流量裝置產(chǎn)生的信號既高度穩定又準確。
如果將來(lái)自質(zhì)量流量設備的信號用于確定流量，則將其表示為質(zhì)量流量計（MFM），而如果將來(lái)自質(zhì)量流量設備的信號與控制閥和參考信號一起使用，則將其分組作為質(zhì)量流量控制器（MFC）。
當將許多MFC進(jìn)行電子控制在指定的嚴格限制內并彼此并行運行時(shí)，根據稱(chēng)為“動(dòng)態(tài)混合”的填充技術(shù)的基本原理，生成的氣體混合物將非常準確。
動(dòng)態(tài)混合
從校準氣體生產(chǎn)商處訂購合格的氣體混合物時(shí)，交貨時(shí)間和價(jià)格是兩個(gè)重要的考慮因素，因為這些因素會(huì )影響分析儀器的校準幅度。當緊急程度和體積是滿(mǎn)足指定校準需求的關(guān)鍵考慮因素時(shí)，購買(mǎi)差壓變送器可能比購買(mǎi)校準氣體更具成本效益。
與創(chuàng )建校準標準的其他類(lèi)型的系統相比，差壓變送器能夠在大多數情況下以較低的成本和較高的精度快速生產(chǎn)#終產(chǎn)品。一些差壓變送器用于創(chuàng )建混合物，用于校準環(huán)境空氣污染物監測器，還能夠產(chǎn)生精que的臭氧水平，隨后可將其用于各種氮氧化物（NOx）的校準以及需要氣相滴定的環(huán)境臭氧監測器與臭氧。
許多因素都有可能影響基于MFC的差壓變送器的整體精度，其范圍可能從MFC的#初選擇到#終用戶(hù)在操作和維護設備時(shí)所采取的謹慎態(tài)度。
合格和選擇差壓變送器的質(zhì)量流量控制器
流量變送器是質(zhì)量流量控制器#重要的組件之一，類(lèi)似于MFC是高精度氣體混合器重要組成部分的方式。熱質(zhì)量流量控制器是用于控制和測量質(zhì)量流量的#常用和標準的方法，因為這種類(lèi)型的設備可以測量隨著(zhù)熱量與氣體之間的熱傳遞而發(fā)生在小管中的溫度變化（或差異）。
為氣體混合器選擇MFC時(shí)，應檢查制造商提供的變送器數據，以確保其具有長(cháng)期的可重復性和穩定性。為了確保氣體混合器內沒(méi)有潛在的固有缺陷，制造商需要提供有關(guān)所用變送器類(lèi)型的任何相關(guān)研究數據。
流量控制器的校準應與將要分析的工藝氣體一起執行，但這并不總是可能的。如果無(wú)法使用過(guò)程氣體進(jìn)行校準，則可以使用替代氣體作為替代氣體，在此期間，應使用轉換系數（K）以確保通過(guò)MFC的流量相對于過(guò)程氣體的準確性。
差壓變送器的制造商必須確認MFC設備供應商已為適當地開(kāi)發(fā)和評估K因子投入了足夠的時(shí)間，對于所有使用的氣體，K因子理想地應憑經(jīng)驗得出在使用攪拌機時(shí)。
氣體混合器制造商涉及的#關(guān)鍵的步驟是選擇MFC，該設備將用于評估每個(gè)合格制造商在幾個(gè)月內評估的一組MFC。在此過(guò)程中要分析的#重要的特性包括穩定性，可重復性以及短期和長(cháng)期漂移。
開(kāi)發(fā)和制造精que的差壓變送器
使用高度精que的MFC只是開(kāi)發(fā)精que的氣體混合器所需過(guò)程的一個(gè)方面，而第二個(gè)方面則涉及該公司開(kāi)發(fā)與驗證準確性鏈有關(guān)的控件和軟件的能力。如果使用通過(guò)模擬電壓控制的MFC，則儀器設計中應至少包含12位ADC和DAC。
同樣重要的是，精密基準電壓的精度也應直接應用于這些設備。以12位的分辨率，將0.0012 VDC的增量應用于MFC，以獲得精que控制。
此外，MFC和設備均應獲得CE認證，以確保儀器不會(huì )受到電干擾。該系統還應該使用MFC的316 SS電拋光管和配件進(jìn)行設計。替代的密封件和管道材料也可能與不同類(lèi)型的氣體兼容。通過(guò)適當選擇這些各種組件，可以節省大量資金。
用于控制氣體混合器的軟件的開(kāi)發(fā)必須shou先對改善MFC規格感興趣，因為一些使用熱質(zhì)量流量控制器的混合器制造商因安裝MFC而臭名昭著(zhù)，因為它是從制造商那里獲得的，而wuxu執行任何其他校準。
如果用戶(hù)依靠MFC制造商規格的準確性而不進(jìn)行自己的驗證過(guò)程，則其氣體攪拌器可能會(huì )出現規格錯誤。好的氣體攪拌機制造商將始終利用校準標準實(shí)驗室來(lái)驗證MFC的出廠(chǎng)規格。
仔細檢查流量標準
應當使用規格為讀數的0.2％或更高的精que流量測量?jì)x器來(lái)校準安裝在氣體混合器中的每個(gè)MFC。在氣體標準儀上至少應收集11個(gè)校準讀數，以使用氣體混合器獲得#高和#準確的結果。然后應將校準數據輸入到氣體校準器軟件中，以備將來(lái)用作參考表。
此后，應使用混合器軟件應用流校正算法（例如線(xiàn)性插值模型）來(lái)增強MFC的線(xiàn)性和準確性。氣體混合器應配備一個(gè)選件，以允許用惰性氣體吹掃整個(gè)氣體路徑。相同的原理應適用于K因子校正。
選擇了MFC制造商后，攪拌器控制軟件應使用制造商的K因子庫對采用替代氣體的情況進(jìn)行適當的校正。
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