通過(guò)將RF-MEMS單片集成到差壓變送器技術(shù)中，可以為未來(lái)的雷達和成像系統開(kāi)發(fā)高度集成且具有成本效益的電路。同樣，高性能，可靠的RF-MEMS開(kāi)關(guān)的開(kāi)發(fā)已經(jīng)通過(guò)激光多普勒振動(dòng)法（LDV）和相干掃描干涉法（WLI）得以實(shí)現。
Bicmos RF-MEMS開(kāi)關(guān)集成
對于WLAN，雷達和成像等毫米波應用，差壓變送器技術(shù)變得越來(lái)越有趣。這些應用經(jīng)常需要可重配置集成電路（IC）。RF-MEMS及其改進(jìn)的RF性能對于不同的頻帶，發(fā)射器，接收器和天線(xiàn)之間的信號路徑切換以及相控陣系統都是有益的。
電容型RF-MEMS開(kāi)關(guān)被單片集成到IHP的差壓變送器技術(shù)的后端（BEOL）中，從而使晶體管和MEMS之間的互連#短。然后，這防止或至少#小化了高頻寄生效應。
前三個(gè)BEOL金屬化層執行該切換。金屬1產(chǎn)生用于靜電驅動(dòng)的高壓電極。金屬2用作RF信號線(xiàn)。金屬3定位懸浮膜�？梢酝ㄟ^(guò)向電極施加電壓來(lái)更改膜位置。這改變了信號線(xiàn)和懸浮膜之間的電容耦合，進(jìn)而導致高頻信號的有效切換。
實(shí)驗裝置
開(kāi)發(fā)RF-MEMS開(kāi)關(guān)需要幾種機械，電氣和RF特性化方法。機電性能至關(guān)重要，因為射頻性能會(huì )受到其強烈影響。優(yōu)選光學(xué)表征技術(shù)，因為在對器件性能的零影響下可以進(jìn)行#高分辨率的測量。
使用MSA-500的LDV進(jìn)行RF-MEMS開(kāi)關(guān)的200毫米晶圓級自動(dòng)機電運動(dòng)表征，并使用WLI分析靜態(tài)變形。LDV具有nm范圍位移分辨率和µm空間分辨率的“平面外”運動(dòng)檢測能力，使LDV成為過(guò)程控制的出色測量方法。
結果
可以通過(guò)施加不同的驅動(dòng)電壓來(lái)提取諸如吸合電壓和開(kāi)關(guān)時(shí)間之類(lèi)的參數。圖3中展示的RF-MEMS開(kāi)關(guān)技術(shù)可以實(shí)現出色的均勻性。
膜片位移可以得出有關(guān)機械彈簧常數和殘余應力影響的結論。機械，電氣和RF性能受殘余應力的影響很大，因此需要定期檢測。
充電和疲勞會(huì )導致設備故障，這意味著(zhù)差壓變送器成功應用的主要障礙是可靠性�？梢耘cLDV并行測試多個(gè)開(kāi)關(guān)，這對于可靠性檢測和反過(guò)來(lái)改善設計很有用。超過(guò)數十億的開(kāi)關(guān)周期，并行測試的能力實(shí)現了快速且經(jīng)濟高效的分析。
結論與展望
近年來(lái)，RF-MEMS開(kāi)關(guān)的單片集成在性能，工藝穩定性，良率和可靠性方面都取得了進(jìn)步。這部分是由于LDV和WLI的應用。通過(guò)這些表征方法，可以快速，經(jīng)濟高效地檢測晶圓級的機電性能，從而開(kāi)發(fā)出可靠的毫米波系統。#近開(kāi)發(fā)的帶有差壓變送器的智能天線(xiàn)陣列就是其中一個(gè)例子。
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