大多數傳統的真空沉積工具使用壓力變送器來(lái)維持真空室中的氣體壓力。節流閥設置可能花費數千美元。它還需要一個(gè)單好的控制模塊來(lái)為閥門(mén)供電，提供PID數據和設定點(diǎn)功能。節流閥設置還可能在更換氣體或等待腔室中的氣體沉降時(shí)導致延遲。
使用快速作用的比例控制閥，將控制儀器放置在腔室上游可以提供更快的響應時(shí)間和更好的穩定性。上游方法還消除了對額外閥門(mén)，切割設備需求和設置成本的需求。Alicat儀器提供了這種替代方案。
使用壓力變送器控制上游的真空水平
對于大型或OEM項目，壓力變送器（外部傳感器）壓力控制器能夠在安裝在腔室上游時(shí)控制真空水平。當過(guò)程壓力處于高真空或很高真空并需要外部壓力表時(shí)，使用該系列。
壓力變送器從傳感器獲取模擬信號，并使用比例閥提供閉環(huán)控制。
通過(guò)添加外部壓力傳感器，可以更精que地保持腔室壓力，同時(shí)還允許用戶(hù)好立于真空沉積系統整體改變或調節用過(guò)的氣體。這允許更快地施加中性氣體，改善涂層環(huán)境中的控制和穩定的壓力水平。
壓力變送器壓力控制器為外部真空計提供電源，并兼容所有儀表技術(shù)，包括離子，皮拉尼和冷陰極以及有源或無(wú)源儀表和組合儀表。
集成真空控制器（IVC）不再有節流閥體積
對于沒(méi)有現有真空計的小型實(shí)驗和項目，Alicat IVC就是解決方案。與壓力變送器一樣，它減少了傳統節流閥壓力控制方法的體積，復雜性和費用。我們將真空傳感器直接集成到設備中，從而可以立即控制真空室中的壓力。我們的傳感器能夠以高精度到低范圍運行，低至10毫托。Alicat IVC還包括直接來(lái)自設備的PID控制，以及氣動(dòng)隔離傳感器 - 與市場(chǎng)上的其他解決方案相比，確保更高的精度 - 精que測量腔室和氣體好立性。
在真空涂層應用中將壓力控制裝置放置在腔室的上游節省了時(shí)間，成本并提高了真空沉積工具的精度。
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